固态药品微波杀菌设备的优点有以下几点
（1） 节能：固态药品微波杀菌设备有很多长处，其他加热方法是先加热物体表面，然后将热量从表面传递到内部。
2） 对不同性质的材料的影响是不同的：介电材料的损耗能够直接消毒。非破坏性介质可采用有损介质或微波穿透介质进行灭菌，非破坏性材料可用作灭菌包装材料。
（3） 效果温度低，热丢失慢：假如固态药品微波杀菌设备微波和一般加热发生相同的热效应，物体上的温度明显低于一般加热。

（4） 快速启动：固态药品微波杀菌设备电磁波能量转换过程非常快，在灭菌方面比其他灭菌因素更快。