气体质谱仪，多用于生产研究之中来监测气体和进行过程分析。气体质谱仪应用的领域十分广泛：如真空科学工业中加速器、高真空、超高真空系统和器件中的气体分析，航天航空工业中燃料箱、发动机、密封仓安全检漏、多种气体分析;
 

　　电子工业中真空镀膜、微波管、彩色显像管等生产中的气体分析，环境监测中车载(船载)质谱监测、土壤、水质、空气质量分析以及表面科学分析、痕量气体分析、催化反应监测、石油化工、冶金、热重仪器的气体分析等多个方面。
 

　　下面让我们来了解一下气体质谱仪的流程及结构组成
 

　　气体样品→进样系统→离子源→质量分析器→离子检测器→数据处理及控制系统，离子源、质量分析器、离子检测器必须在真空下工作(10–4pa)。
 

　　进样系统--可用卡套直接把样品毛细管接到反应器，通过持续不断的进样、快速的检测，实时在线检测样品气体的种类和含量的变化。
 

　　进样压力(100mbar-2bar)，响应时间可短至300ms。进样毛细管主要有石英毛细管和不锈钢毛细管两种。石英不会和酸性气体反应且气体不容易吸附在其表面。
 

　　离子源--一般都选用电子轰击离子源(EI)。中性分子被70ev的电子轰击成离子。目前比较好的灯丝材料是铱，它的使用寿命可达5年，而钨灯丝的使用寿命仅1年。 质量分析器--市面上的在线气体质谱仪大都用四级杆质量分析器。
 

　　四极杆质量分析器又称为四极滤质器。它由四根相互平行并均匀安置的金属杆构成，全属杆的截面是双曲线形的。 离子束进入电场后，在交变电场作用下产生了振荡，在一定的电场强度和频率下，只有某种质量的离子能通过电场到达检测器，其他离子则由于振幅增大，最后撞到极杆上而被"过滤"掉，并被真空泵抽走。