【蘭州氣體配送?】高純度氣體的管道輸送,你知道嗎?
2023-02-27 來自: 蘭州廣星通氣體有限公司 瀏覽次數(shù):683
【蘭州氣體配送】高純度氣體的管道輸送,你知道嗎?
氣體配送廠家告訴您高純度氣體管道中所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU),為了達到儀器對氣體的質(zhì)量要求,在氣體出口指標的情況下,則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設備的精度外,在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響,因此,管材的選取應恪守相關行業(yè)原則,并注明管道材質(zhì)。
高純度氣體的管道輸送,將高純氣體送至用氣點,并保持質(zhì)量合格的關鍵是供氣系統(tǒng)設計合理、管件及附件選擇正確、施工安裝正確和試驗檢測合格。高純氣體管道輸送管道,要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同,采用相應質(zhì)量的管材。比如半導體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復雜、加工精細,它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴格的要求,從微米技術進入亞微米、深亞微米(小于O.35g.m)技術,對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴格,10 (ppm級)已經(jīng)不能達到要求,需要達到10 (ppb級),甚至10一~2(ppt級),塵埃粒徑要求控制到0.05-0。Olla,m。
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